安装空气过滤器后,必须进行泄漏检测。净化车间地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板高效送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板。洁净室单向流洁净室气流的特征是流线平行,以单一方向流动,并且在断截面上风速一致,有垂直单向洁净室,准垂直单向流,水平单向流洁净室等。洁净室要达到洁净等级,必须有综合措施,其中包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等。其中空气洁净措施是实现洁净等级的根本保证。安装后空气过滤器的泄漏检测确认安装质量,检测高效空气过滤器风口的整个表面,过滤器四周,过滤器外框与安装架之间的密封位置。在泄漏检测过程中,从过滤器的上侧引入测试气溶胶,并在顺风侧立即扫描。测试通常在洁净室(区域)的"空"或"静态的"状态下进行。
泄漏安装HEPA过滤器和光度计粒子计数器方法的检测方法。光度计通常与小洁净室空气处理系统被附接到气雾剂喷射点或管道系统中使用,可以实现预定的测试气溶胶的浓度高;颗粒计数器的方法,因为灵敏度和良好的低污染,一般使用后的粒子计数器泄漏探测效率的空气过滤器的安装方法。
当采用光度计法扫描检漏时,被测过滤器的最高穿透粒度穿透率等于或大于0.005%。使用的试验气雾剂不得影响洁净室(区)内的产品或工艺设施待测过滤器应在额定风速的80%-120%之间运行,在光度计检漏前应确认其供气均匀性。
在测试滤池上部风向引入的气溶胶浓度应为10毫克/立方米至100毫克/立方米。
毫克/立方米。 20岁以下
当mg/m3时,检漏灵敏度降低,浓度大于80
当毫克/立方米,如果测试了很长时间,过滤器将被堵塞。在滤池泄漏检测之前,必须确定气溶胶的浓度和均匀性。
当扫描泄漏,使用一个正方形3cm3cm探针,扫描速度不能超过5厘米/ s时,探针的最大扫描区域不超过所述矩形15C㎡/秒。在扫描过程中,如果有比显示限制泄漏相等或更大,探测应保持在泄漏。 HEPA过滤器限制泄漏指泄漏超过10-4风测试气溶胶浓度或与所有者协商。
采用粒子计数器法扫描检漏时,被测空气过滤器的最高粒径穿透率大于或等于0.00005%不允许使用可能沉积在带有挥发性油尘的过滤器或管道上的测试气溶胶。
在用颗粒计数器检测泄漏之前,所测试的过滤器应运行在额定风速的70%~130%之间,并确认其送风均匀性。
测试过滤器的迎风面应引入的大气灰尘或其它气雾剂包括加入空气的均匀浓度,以实现测试气溶胶的所需的浓度。当颗粒大于或等于0.5米,测试气溶胶的浓度为大于或等于3.5105C /立方米更大;为0.1μm或更大的颗粒,浓度应大于或等于3.5109PC /立方米。
检漏扫描时,取样口与被检件的距离应小于5.0cm,并以0.05m/s的速度移动,由空气高效过滤器下风侧测得的泄漏浓度换算成的透射率不应大于出厂合格透射率的3倍过滤器。
安装在管道或空气处理器中的高效空气过滤器的泄漏检测可以通过光度计或粒子计数器来检测。