净化工程洁净技术发展概述

净化工程洁净技术是一个新兴的科学技术领域，是跨学科、跨部门、跨学科的综合性科技新分支。无尘室净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理，可采用亚高效空气过滤器代高效空气过滤器。净化工程指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。净化车间优点：构造简单、系统建造成本低，洁净室的扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。它与许多行业和学科密不可分，具有自己独特的特点。我们必须学习和吸收各行业、各学科的成就、经验和优势。善于根据自身特点，充分发挥和积极调动各领域的科技人员。

与其他高技术一样，净化工程技术的诞生和初步应用服务于军事目的。在第二次世界大战中，一些枪支、坦克、飞机等使用的仪器经常失效。开发商意识到仪器生产和装配环境中的空气中粒子是罪魁祸首，于是工业洁净室诞生了。原来的工业清洗室比较简单。随着原子武器研究和生化武器研究的发展，高效空气过滤器在20世纪40年代早期得到了成功的开发和应用。20世纪60年代初，出现了单向流动洁净室，这些设备和技术的诞生成为洁净技术发展的里程碑，为现代洁净技术奠定了基础。

洁净工程原来的洁净标准是由美国制定的，也是使用最广泛的。单位是帝国制度。允许粒子的最大数量为每立方英尺空气0.5微米粉尘。另一种是国际单位，是通常使用的对值，即每立方米空气中允许的最大粒子数0.5μm尘埃粒子。

虽然现代工业洁净室仍然使用悬浮颗粒物作为主要控制对象，但在某些过程中，还提出了对空气中分子污染物的控制要求。因此，空气净化技术的关键设备也从单颗粒过滤器发展成可以吸收有害气体物质的化学过滤器。

微电子工业是现代工业洁净室应用的代表。主要产品有大型集成电路和平板显示器。半个多世纪以来，集成电路发展迅速。随着集成度的提高，构件的线宽不断缩小。因此，气溶胶颗粒的控制粒径越来越小。一般认为控制粒径应为线宽的1/10-1/3，但由于线宽越来越小，这一要求也很难满足。微电子产品的快速发展对传统洁净技术提出了巨大挑战，也促进了现代洁净技术的发展。工业洁净室主要由空气中的悬浮颗粒物控制，为精密机械和电子产品行业提供所需的生产环境。

20世纪60年代初是中国洁净技术发展的开端，大约比国外晚了十年。在中国，这是一个非常特殊和困难的时期。一方面，在经历了三年的自然灾害和经济基础薄弱之后，在科学和技术方面没有与先进国家直接接触，也没有必要的科学和技术数据、信息和样本。在这些困难的条件下，中国的洁净技术工人围绕着精密机械、航空仪器和电子工业的需要，开始了自己的创业之旅。