净化工程的分类介绍

所谓的净化项目是控制产品（如硅片）接触的大气的清洁度和温度和湿度，使产品可以在良好的环境中生产和制造。无尘室装配式洁净厂房的全部维修构件在工厂内按统一模数及系列加工完成，适于批量生产，质量稳定，供货迅速。无尘车间叫洁净厂房、洁净室(Clean Room）、无尘室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。洁净车间机动灵活，即适合在新建厂房配套安装，也适宜老厂房的净化技术改造。维修结构也可随工艺要求任意组合，拆卸方便。该空间的设计和施工过程可称为净化工程。净化工作可分为湍流和层流。

1、乱流式

空气通过洁净室的风管和空气过滤器（HEPA）通过空调箱进入洁净室，并通过洁净室两侧的隔板或高架地板返回。由于气流的非线性运动，使其处于不规则的湍流或涡流状态。这种类型适用于1000-100000级洁净室。优点：结构简单，系统建设成本低，洁净室易于扩建，无尘工作台可用于某些特殊使用场所，提高洁净室等级。缺点：湍流产生的粉尘颗粒漂浮在室内空间，不易排放，易污染工艺产品。此外，如果系统停止运行并重新启动，则需要很长时间才能达到所需的清洁度。

2、层流式

层流气流进入一条均匀的直线，空气通过100%覆盖的过滤器进入房间，空气由高架地板或两侧隔板返回。这种类型适合在较高的环境中使用洁净室等级。一般情况下，洁净室等级为1~100级。它可分为两类：

（1）水平层流型：水平空气从一个方向从过滤器吹出，相对壁的回风系统返回风，灰尘随风向排出到外面，下游污染情况普遍严重。层流罩

优点：结构简单，运行后短时间内稳定。缺点：施工成本高于湍流式，室内空间不易扩大。

(2)垂直层流：房间的天花板完全覆盖有ULPA过滤器，空气从顶部吹向底部，可以获得更高的清洁度。在不影响其他工作区域的情况下，由工艺或工作人员产生的粉尘可以快速地排放到室外。

优点：易于管理，在短时间内稳定运行，不易受运行状态或操作人员的影响。湍流的缺点：施工成本高，空间灵活使用困难，吊顶吊架占据相当大的空间，过滤器的维护和更换比较麻烦。混合型：复合型结合湍流和层流，提供部分超洁净空气。